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行业动态

THK直线导轨和滚珠丝杠在半导体、液晶制造装备上的应用与作用

时间:   来源: 创威达   浏览量: 96 次

计算机,手机,平板电视。在所有电气、电子设备的生产中,“半导体、液晶制造设备”是必不可少的。它的发展不仅使PC的高性能化,手机的高功能性化,而且使大型电视机的价格更低,生活更丰富多彩。该产品还支持THK尖端技术,要求精细高性能。
 
玻璃片研磨装置。
液晶屏,用于汽车导航和移动设备等。采用LM导轨和紧凑形状的滚珠丝杠,在对截面进行美观加工的过程中,使截面运动平稳。
 
玻璃板搬运装置的安装。
为实现大尺寸LCD玻璃基片的高速长距离输送,高精度、高稳定性,同时又能跟随长行程的LM导轨与直线电机的驱动组合是必不可少的。
 
用于液晶玻璃基板的探针工作台装置。
检测LCD玻璃基片电性能的测定仪需要在较大范围内准确定位。随着液晶玻璃基板的大型化,LM导轨和滚珠丝杠的加工精度也越来越高,从而提高了生产效率。
 
石英坩埚外径测定仪。
硅锭熔铸工艺中所用的石英坩埚,外观尺寸的测量装置采用GL型,结合了LM滚珠丝杠和LM模组,有助于减少设计和安装工时,降低总成本。
 
数控旋床
滚刀盘用于加工传递作用和力的齿轮,以前采用滑动导向,但在配管设计和供油管理上很费工。将润滑选项加入到LM导轨和滚珠丝杠中,可以减少设计、装配工时,延长维修周期。
 
平板磨床
在此之前,平面磨床上的工作台进给一直采用液压缸,但由于工作台进给机构采用滚珠丝杠伺服化,进给速度得到高度控制,从而实现了高生产率。此外,作为不使用液压的清洗机械,球杆化还可以起到环保作用。
 
所用产品
直线导轨滑块,滚珠丝杠,交叉滚柱轴环,油脂润滑制品等。

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