THK直线模组运动精度的范围还没有明确的定义。这里，暂定义为:在使用运动速度时的位置、速度、加速度相关的精度称为运动精度。
与位置相关的精度包括真直线度、旋转精度、位置确定精度(直线、分度)、轮廓精度等。使用激光干涉仪测量真直线度和位置精度(直线、分割)时应符合上述测量原理。即使测点的运动是真直线，但运动物体是一个整体的滚动、偏航和俯仰，因此有必要用线性模量作为一个整体来测量运动物体。
轮廓精度尤其是具有代表性的圆弧轮廓精度，在机械加工中的重要工程。通过测量机械做圆的半径为填充之间的圆周运动，读出从隐藏的波纹脚处得到的误差，并拿到电脑上进行处理。最小单位的读数精度为0.1 (xm，测量精度为0.5，用这种方法，可测量精度高，能量高，并可诊断运动误差的原因。但这只是以圆弧轮廓精度为对象，对任意形状的运动精度的测定必须使用干涉仪。
一般情况下，任何形状的轨迹都可以通过运动得到。现在用激光干涉仪每隔一段时间测量三轴的运动，最后合成数据。旋转精度可以通过使参考球或轴接近真圆旋转和非接触来获得其位移。球可以从径向和轴向测量精度。参考球的精度(误差1/10)是测量系统(原理3)的5 - 10倍，但在实际中很难得到高精度的球。
速度有激光多普勒测定仪、激光多普勒振动仪等。加速度一般由加速度计测量，一般由加速度放大器测量，加速度放大器是安装在运动物体上的压电元件。
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