THK直线微型导轨作为机械设备中较为常见的传动元部件，其质量直接影响着机械设备的使用寿命和精度。因此，直线微型导轨必须具有较高的耐磨性能和尺寸温度性。虽然离子氮化导轨可以获得较高的硬度和耐磨性，但考虑到以受氮化变形的影响较大，导致导轨离子氮化产品遭受限制。
第一，提前热处理
THK直线导轨毛坯选用进行两种预先热处理工艺，即退火和调质。退火工艺：870℃下保温2h，炉冷低于500℃以下出炉空冷。硬度等于229 HBW或以下。调质：930 ~ 940℃保温1. 5h，油冷淬火；随后680 ℃回火3h，空冷。
第二点，通过实验找出THK直线导轨离子氮化变形的规律：
采用相应的技术措施促使长度760毫米的滚珠直线导轨。在离子氮化后，能够让导轨底基面弯曲的极限偏差与侧基面弯曲的极限偏差满足有关文献规定的5、6级精度的技术条件。
第三点，我们通常把THK直线微型导轨理解为是一种滚动导引，由钢珠在滑块跟导轨间作无限的滚动循环，因此，负载平台可以轻松实现沿导轨的高精度直线运动，将摩擦系数降低到传统滑动导轨的1/50，从而轻松实现更高的定位精度。滑块与导轨之间的最终单元设计可以使THK直线微型导轨同时承受上下左右的负荷硬度。
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